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PHYTRON VSS 42.200.1,2-GPL-HV-KTC-4Lp-1.5 高真空步進(jìn)電機(jī)完整介紹
一、品牌概述
德國 PHYTRON（飛創(chuàng)），全球特種真空 / 低溫 / 抗輻射步進(jìn)電機(jī)原廠，VSS 系列為高真空 HV 標(biāo)準(zhǔn)兩相混合步進(jìn)電機(jī)，整機(jī)德國制造，適配鍍膜、質(zhì)譜、冷凍探針臺、半導(dǎo)體腔體等超高真空精密定位場景Phytron GmbH。
二、完整型號分段釋義 VSS 42.200.1,2-GPL-HV-KTC-4Lp-1.5
VSS：標(biāo)準(zhǔn)高真空兩相步進(jìn)電機(jī)系列
42：42mm 方形法蘭（NEMA17 緊湊尺寸）
200：標(biāo)準(zhǔn) 1.8° 步距，每轉(zhuǎn) 200 整步
1,2：額定相電流 1.2A，4 線并聯(lián)繞組
GPL：集成 VGPL 真空專用低背隙行星減速頭，整機(jī)真空適配潤滑
HV：High Vacuum 高真空等級，極限真空 10?11 hPa，出廠 200℃高溫烘烤除氣，低析出航天級材料
KTC：內(nèi)置 K 型熱電偶，實(shí)時監(jiān)測電機(jī)內(nèi)部溫度，實(shí)現(xiàn)真空腔體過熱聯(lián)鎖保護(hù)
4Lp：4 芯并聯(lián)動力出線，適配兩相高壓步進(jìn)驅(qū)動器
1.5：配套 1.5 米真空低揮發(fā)專用屏蔽線纜
三、核心電氣機(jī)械基礎(chǔ)參數(shù)
本體步進(jìn)性能
相數(shù)：兩相混合式
步距角：1.8°，步距精度 ±5%，支持高細(xì)分微步
額定相電流：1.2A
適配驅(qū)動電壓：70VDC 高壓驅(qū)動
保持扭矩：120mNm
整機(jī)重量：0.35kg，機(jī)身長度 54mm
轉(zhuǎn)動慣量：0.045kg?cm2
軸向軸承載荷 20N，徑向 40N
真空與溫區(qū)性能
極限真空：10?11 hPa
耐受烘烤溫度：最高 200℃除氣，長期工作腔體≤160℃
工作溫度區(qū)間：-196℃液氮低溫～+85℃
出氣率＜10?12 Pa?m3/s，不污染光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體腔體
抗輻射標(biāo)準(zhǔn)：10? J/kg，適配航天、高能物理設(shè)備
減速單元 GPL一體化真空行星減速機(jī)，專用無揮發(fā)真空潤滑脂，極小背隙，微米級重復(fù)定位精度，適配狹小腔體減速驅(qū)動。
測溫 KTC 功能電機(jī)內(nèi)置一體式 K 熱電偶，動力線纜同步引出測溫線，密閉真空腔體無需外置測溫探頭，可接入溫控模塊做超溫停機(jī)保護(hù)。
出線配置1.5 米低析出真空柔性線纜，4 芯電機(jī)動力線 + KTC 測溫雙線一體，適配真空法蘭密封穿倉。
四、產(chǎn)品核心特點(diǎn)
緊湊型 42 法蘭一體化方案電機(jī) + 真空減速機(jī) + 內(nèi)置測溫三合一，NEMA17 小體積，適配狹小真空腔體內(nèi)部安裝，節(jié)省腔體空間。
極低放氣真空專用工藝全機(jī)不銹鋼殼體、無有機(jī)揮發(fā)涂層、真空專用潤滑脂，出廠高溫烘烤除氣，不會污染膜層、樣品、光學(xué)鏡片。
寬溫極端工況兼容同時支持高真空、液氮超低溫、輻照環(huán)境，冷凍電鏡、低溫探針臺、靶材旋轉(zhuǎn)驅(qū)動通用。
內(nèi)置溫度閉環(huán)防護(hù)真空密閉環(huán)境無法外部測溫，KTC 熱電偶實(shí)時采集電機(jī)內(nèi)部溫升，規(guī)避真空內(nèi)過熱燒毀風(fēng)險。
低背隙精密減速傳動真空專用行星減速結(jié)構(gòu)，定位重復(fù)精度高，適合樣品臺微調(diào)、閥門角度調(diào)節(jié)、濺射靶材勻速旋轉(zhuǎn)。
高壓絕緣抗干擾繞組70VDC 高壓適配，腔體內(nèi)部無放電風(fēng)險，抗真空內(nèi)靜電、電磁干擾。
五、典型應(yīng)用場景
光學(xué)鍍膜、濺射、蒸鍍設(shè)備小型靶材旋轉(zhuǎn)、樣品位移平臺
冷凍電鏡、液氮低溫探針臺精密樣品定位機(jī)構(gòu)
質(zhì)譜儀、真空檢漏腔體調(diào)節(jié)閥、微量樣品平移臺
半導(dǎo)體小型真空制程、離子注入微位移模組
實(shí)驗(yàn)室超高真空科研設(shè)備、航天環(huán)境模擬艙小型傳動機(jī)構(gòu)